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    1200℃-CVD梯度管式炉

    【产品名称】1200℃-CVD梯度管式炉

    【炉管尺寸】φ25--φ120mm

    【加热区】300mm+300mm 

    【额定温度】1200℃

    【控温精度】±1℃ 

    【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

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    商品描述

    【产品名称】1200℃-CVD梯度管式炉

    【炉管尺寸】φ25--φ120mm

    【加热区】300mm+300mm 

    【额定温度】1200℃

    【控温精度】±1℃ 

    【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。


    1200℃管式炉化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

    二、产品特点

    炉外壳

    1、外壳采用金属Q235低碳钢,表面静电耐药涂装,抗腐蚀

    2 坚固的双层金属框架配合隔热风扇结构,炉表面温度低

    3、水平使用方式,上开盖结构,操作方便

    耐火材料

    多层隔热设计,由轻质氧化铝陶瓷纤维和高品质隔热板背衬组成,不含石棉成分,热损失小,能耗低

    加热系统    

    1、高品质HRE螺旋电阻丝发热体,牢固的镶嵌在炉膛表面在炉腔内自由热辐射加热,使用寿命长

    2、电阻丝环形加热,从而实现炉内的良好均匀性

    温度控制面板

    1PID配合SSR控制方式,温度控制准确

    2、国际标准化N型镍铬硅热电偶,测温范围0-1300℃,使用寿命长

    3、炉门带有开门断电保护开关

    程序控制器

    1、适应复杂工艺需求的的控制器

    2、操作简单直接,编程灵活

    3、可编程4条曲线,单条曲线8个程序段

    4、超温和故障报警,自动进行保护

    真空气氛功能

    1、带有304不锈钢的密封法兰,获得炉管内的真空或者气氛

    2高品质石英玻璃工作管,也可选择金属或刚玉材质的工作管,从而适应不同的工况

    3、高性能双极旋片真空泵,可获得5pa的真空度,数字真空计可显示真空度

    4、带有气路控制单元,控制单元可选择1-3MFC自动控制系统


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